1,Panoramica
La torre di combustione silano in acciaio inossidabile prodotta dalla nostra azienda è utilizzata principalmente per purificare il gas di coda silano generato nella produzione di silicio monocristallino e industrie del silicio policristallino. L'applicazione di successo di questa apparecchiatura è dovuta principalmente alla digestione e all'assorbimento della tecnologia di depurazione dei gas di scarico silano da parte del nostro personale tecnico nell'industria dei semiconduttori stranieri, al fine di soddisfare la depurazione del gas silano generato nell'energia solare domestica, nell'industria dell'energia leggera, nell'industria dei semiconduttori e nel processo di deposizione di gas chimico CVD.
2,Principio di funzionamento
Secondo le caratteristiche di combustione spontanea del gas di coda silano a contatto con l'aria, il gas di coda silano generato nel processo di produzione entra nel cilindro di combustione silano dell'acciaio inossidabile YZR attraverso la conduttura per il trattamento di combustione ed il gas di coda trattato dal cilindro di combustione entra nella torre di combustione silano dell'acciaio inossidabile YZR attraverso la conduttura per il trattamento di combustione secondaria. Il gas dopo il trattamento di combustione entra nella camera di spruzzo della torre di combustione per il trattamento primario dello spruzzo e quindi passa attraverso lo strato di imballaggio per entrare nel trattamento secondario dello spruzzo, in modo che il gas di coda possa completamente invertire la reazione di contatto con il liquido circolante neutralizzante e quindi viene scaricato dal ventilatore di scarico dopo il trattamento di disidratazione.
3,Aspetto del prodotto
4,Diagramma di processo