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Microscopio elettronico a scansione ad emissione a campo ad alta risoluzione serie SU8600
Con la rapida acquisizione dei dati e lo sviluppo delle tecnologie di elaborazione dei dati, il microscopio elettronico è entrato in un'era in cui non
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Microscopio elettronico a scansione ad emissione a campo ad alta risoluzione serie SU8600
Con la rapida acquisizione dei dati e lo sviluppo delle tecnologie di elaborazione dei dati, il microscopio elettronico è entrato in un'era in cui non solo la qualità dei dati, ma anche il processo di acquisizione. La serie SU8600 è basata sulla tecnologia di imaging a campo freddo della serie Regulus 8200 per immagini di alta qualità, analisi di fascio elevato e funzionamento stabile per lunghi periodi, oltre a migliorare notevolmente la capacità di acquisizione automatica dei dati ad alto flusso.
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- Le foto del dispositivo includono opzioni.
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Caratteristiche
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specifiche
Caratteristiche
Caratteristiche
Immagine ad alta risoluzione
Le fonti elettroniche ad alta luminosità di Hitachi garantiscono immagini ad alta risoluzione anche a basse tensioni di atterraggio.
Esempi di zeolite tipo RHO osservati in condizioni di tensione di 0,8 kV. La figura di sinistra è la forma complessiva della particella, la figura di destra è l'immagine ingrandita, la struttura sottile della superficie della particella è chiaramente visibile. L'osservazione a bassa tensione è più efficace per ridurre i danni al fascio di elettroni e ottenere informazioni sulla forma della superficie.
Campione fornito dall'Istituto Giapponese per la Tecnologia Industriale
Immagini di retrodispersione a bassa accelerazione ad alta rivestimento
Osservazione 3D NAND;
In condizioni di bassa tensione di accelerazione, il segnale elettronico retrodiffuso può mostrare chiaramente la differenza di rivestimento tra lo strato di ossido di silicio e lo strato di nitruro di silicio.
Osservazione 3D NAND (tensione accelerata: 1,5 kV)
Immagine rapida BSE: nuovo rilevatore di elettroni a dispersione posteriore (OCD)*
Grazie al nuovo rilevatore OCD, è possibile osservare immagini strutturali profonde chiare Fin-FET anche se la scansione dura meno di 1 secondo.
Osservazione della struttura interna della SRAM di processo 5 nanometri (tensione accelerata: 30kV, tempo di scansione < 1 secondo)
Automazione avanzata*
EM Flow Creator consente ai clienti di creare flussi di lavoro automatizzati per l'acquisizione di immagini continue. EM Flow Creator definisce diverse funzioni SEM come moduli grafici, come impostare l'ingrandimento, spostare la posizione del campione, regolare la distanza focale e il contrasto tra luce e buio. Gli utenti possono trascinare questi moduli in un programma di lavoro in ordine logico con un semplice mouse. Dopo il debug e la conferma, il programma acquisisce automaticamente dati di immagine di alta qualità e riproducibili in ogni chiamata.
Interfaccia utente flessibile
Supporto nativo a doppio monitor per uno spazio operativo flessibile ed efficiente. Visualizzazione e salvataggio simultanei a 6 canali per una rapida osservazione e acquisizione di segnali multipli.
I segnali a 1, 2, 4 o 6 canali possono essere visualizzati contemporaneamente sullo stesso monitor, tra cui i rilevatori SEM, le telecamere della camera campione e le telecamere di navigazione. Lo spazio di lavoro può essere esteso utilizzando due monitor e l'interfaccia utente può essere personalizzata per migliorare la produttività.
specifiche
| Modello | Serie SU8600 | |
|---|---|---|
| Sistemi ottici elettronici | Risoluzione elettronica secondaria | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| ingrandire | 20 to 2,000,000 x | |
| Pistola elettronica | Fonte elettronica di emissione a campo freddo che supporta la funzione di lampeggiamento flessibile e include un sistema di cottura a anodo. | |
| Tensione di accelerazione | 0.5 to 30 kV | |
| Tensione di atterraggio | 0.01 to 20 kV | |
| Rilevatore | (in parte opzionale) | Rilevatore superiore (UD) |
| Filtro di energia UD ExB con miscela di segnali SE/BSE | ||
| Rilevatore inferiore (LD) | ||
| Rilevatore superiore (TD) | ||
| Filtro di energia TD | ||
| Rilevatore elettronico a dispersione posteriore (IMD) all'interno dello specchio | ||
| Rilevatore elettronico a retrodiffusione a semiconduttore (PD-BSED) | ||
| Nuovo rilevatore elettronico retrodiffuso (OCD) a corpo lampeggiante | ||
| Detettore fluorescente a catodo (CLD) | ||
| Rilevatore di trasmissione di scansione (STEM Detector) | ||
| Accessori | (in parte opzionale) | Fotocamera di navigazione, fotocamera della camera di campionamento, spettrometro energetico a raggi X (EDS), rilevatore di diffrazione elettronica a retrodiffusione (EBSD) |
| Il software | (in parte opzionale) | EM Flow Creator, HD Capture (fino a 40.960 x 30.720 pixel) |
| Banca campioni | Asse di azionamento del motore | Azionamento a motore a 5 assi (X/Y/R/Z/T) |
| Asse di azionamento del motore | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Sala campioni | Dimensioni del campione | Diametro massimo: 150 mm |
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- In modalità rallentamento
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