Il sistema di caratterizzazione dei dispositivi ad alta potenza MPI è stato progettato appositamente per la prova di dispositivi ad alta potenza su wafer. Il sistema di sonde MPI TS150-HP offre una soluzione completa di wafer da 150 mm. Sono progettati per realizzare misurazioni di resistenza a basso contatto per semiconduttori di potenza in un ampio intervallo di temperatura.
II. Descrizione del prodotto
1. Progettazione multi-applicazione
Per diverse applicazioni di misurazione dei wafer, come descrizione e modellazione delle caratteristiche dei componenti, affidabilità a livello di wafer (WLR), analisi dei guasti (FA), ingegneria dei circuiti integrati, microsistemi elettromeccanici (MEMS)
Efficienza e sicurezza
- Progetto di piattaforma di trasporto a gas a rilascio rapido per un'operazione semplice con una sola mano
- Robusto banco da lavoro in grado di trasportare fino a 10 microlocalizzatori HV ad alta tensione o 4 microlocalizzatori HC ad alta corrente
- Scatola elettromagnetica e schermo di arco ArcShield per misure di alta tensione
- Maniglia di sollevamento rapido a tre sezioni (contatto - separazione - carico) per un'elevata riproducibilità
Sono disponibili diverse opzioni di connessione degli strumenti e supporti per wafer aggiornabili, nonché accessori come microposizionatori DC/RF/mmW, microscopi ottici, obiettivi per immagini, schermi elettromagnetici, ecc. per supportare completamente le esigenze dell'applicazione.
Caratteristiche e vantaggi
1. Fase dell'aria
La piattaforma di cuscinetti a aria MPI è progettata con un semplice controllo del disco a mano singola che offre una comodità operativa senza pari per una rapida navigazione XY e un carico rapido dei wafer senza compromettere la capacità di posizionamento preciso e preciso e con un movimento XY-Theta milleter 25x25mm in più raffinato e preciso.
10kV coassiale o 3kV triassiale Chuck ambienti
Le opzioni di blocco includono blocco a anello coassiale 10kV o 3kv a tre assi MP o una varietà di blocco termico ERS che supportano misurazioni di temperatura fino a 300 ° C. I controllori a tocco caldo sono progettati per essere installati sulla sonda per un funzionamento rapido e facile.
3. Sonde HV/HC (sonde HV/HC)
Le soluzioni di rilevamento ad alta potenza MPI comprendono sonde ad alta tensione e ad alta corrente dedicate che utilizzano punte multicontatto proprietarie MPI per ridurre la resistenza al contatto. Le sonde ad alta tensione MPI sono in grado di effettuare misurazioni di corrente di perdita bassa durante le prove ad alta tensione, testando impostazioni triassiali fino a 3kV o coassiali 5 e 10kV.
Sicurezza e precisione (Safe and Accurate)
Il sistema standard di sonde manuali ad alta potenza è configurato con DarkOX, che offre interblocco di sicurezza e schermo EM per garantire misurazioni accurate e sicure a basso suono secco.
Integrazione degli strumenti (Instruments Integration)
I TS150-HP/TS200-HP possono essere configurati con una vasta gamma di pacchetti di connessione strumentale che includono le sonde ad alta tensione/corrente e gli accessori di cablaggio necessari per una connessione ottimale con strumenti di prova come Keysight B1505 (3kV o 10kV) o Keithley 2600-PCT-XB, inclusa l'integrazione del pannello di interfaccia ad alta potenza 8020.
4. Parametri funzionali
specifiche
Piastra di sonda
Scheda ad alta potenza non termica