Modulatore di luce spaziale SLMCaratteristiche: Questo modelloModulatore di luce spaziale (SLM)Può essere applicato a qualsiasi situazione in cui è richiesta la modulazione continua del fascio luminoso. Una delle sue applicazioni è per * * piastre della maschera di fotolitografia.
Dati di un pixel SLM (1M pixel)Modulatore di luce spaziale SLMGli indicatori sono i seguenti:
Nota valore parametro
Dimensioni della matrice 2048 × 512 specchi
Dimensioni pixel 16 × 16 μm²
Frame rate 2 kHz
Deviazione del bordo dello specchio 0 - 180 nm fino a 350 nm possibile
Lunghezza d'onda 248 nm fino a circa 1500 nm possibili
Potenza media del fascio 40 mW elevata possibile; wavelength dependent
Tensione dati 0 - 25,5 V analogica
Dati inseriti 256

Questo modelloModulatore di luce spaziale SLMCostruito utilizzando un sistema micro elettromeccanico, si prega di fare riferimento a quanto segue per istruzioni dettagliate:
The devices are so called MOEMS (Micro Opto Electro Mechanical System). Micromirrors are fabricated with a pitch of >10 μm using thin film technology on top of a planarized CMOS backplane. The circuit provides electrodes underneath the mirrors to supply each mirror with individual voltages. The voltage difference between the electrode and the mirror generates an electrostatic force that deflects the mirror towards the electrode. The mirror material is a highly reflective
aluminium alloy. Mirrors made from alternative materials and coatings for high reflectivity for very demanding applications
are available or under development.