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Macchina di pulizia al plasma YSP63FA
Macchina di pulizia al plasma YSP63FA
Dettagli del prodotto
Sistema di trasmissione dei campioni personalizzabile
● Operazione rapida e facile: inserire il contenitore del campione, gestire automaticamente e rimuovere il contenitore.
• Il substrato morbido può anche essere trasportato.
La velocità di trasporto può essere regolata tra Hi-Low.
Possibilità di operazione remota tramite rete (acquisto opzionale).

specifiche

Modello

YSP63FA

Modalità

RIE (modalità DP opzionale)

Potenza di trasmissione ad alta frequenza

600W

Dimensioni del banco di reazione

W385×D362mm

Dimensioni interne

W395 × D378 × H45mm (dimensioni interne)

Gas di reazione

2 sistemi di aspirazione (ossigeno, argon)

Controllo del flusso del gas di reazione

Controllatore di flusso di massa

Pompa per vuoto

Pompa a vuoto rotante (circa 500 l/min)

Importazione gas

2 gas di reazione, 1 gas di riempimento, 1 aria

Dimensioni

W1860×D1100×H1800mm


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