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Lavatrice al plasma YSP600U/2KU
Lavatrice al plasma YSP600U/2KU
Dettagli del prodotto
Il sistema di trasmissione dei campioni è modulare e facile da combinare
Uso
● Migliorare l'adesività di vari materiali, trattamento di modifica superficiale
• Pulire tutti i substrati.
• Modificazione della superficie dei componenti elettronici e dei materiali.
Rimuovere le sostanze organiche e le membrane ossidative naturali.

Caratteristiche
• Dimensioni ridotte, risparmio di spazio.
● La scelta di piccole cavità, alta efficienza di reazione.
• Più facile da usare nella linea di produzione.
● La modalità plasma può essere cambiata liberamente tramite il pannello di comando.
• Disponibilità di un banco di raffreddamento.

Slot interno


Specifiche tecniche

Modello

YSP600U

YSP2KU

Modalità

RIE (modalità DP opzionale)

Potenza di trasmissione ad alta frequenza

600W

2000W

Dimensioni del banco di reazione

W300×D300mm

W600×D600mm

Gas di reazione

2 sistemi di aspirazione (ossigeno, argon)

Controllo del flusso del gas di reazione

Controllatore di flusso di massa

Importazione gas

2 gas di reazione, 1 gas di riempimento, 1 aria



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