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Lavatrice al plasma V1000/1000X/1000XS
Macchina di pulizia al plasma V1000/1000X/1000XS
Dettagli del prodotto
Lavatrice al plasma ad alta frequenza 13,56 MHz con doppia modalità RIE/DP
Dispositivo di trattamento superficiale con plasma. I modelli desktop ad alte prestazioni che si concentrano sulla "semplicità d'uso" sono semplici da accedere ai dati, centrati sui materiali elettronici e adatti a una vasta gamma di usi.
Caratteristiche
La costruzione dell'elettrodo può essere modificata per migliorare l'effetto del plasma.
● Con adattatore di alta precisione, alimentazione RF ad alte prestazioni.
• Può essere personalizzato in base alle specifiche richieste.
Uso
● Grisiamento e incisione di wafer di silicio
● Trattamento della sporcizia della superficie del substrato
● Imballaggio IC/LED, gestione del substrato BGA/CSP
• Pulizia a secco dei materiali elettronici dei componenti relativi ai semiconduttori
• Rimozione naturale della membrana ossidativa e delle sostanze organiche
• Gestione dell'attività dell'interfaccia
• Rimozione degli inquinanti superficiali
Slot interno
specifiche
Diagramma di connessione di tubazioni
Dispositivo di trattamento superficiale con plasma. I modelli desktop ad alte prestazioni che si concentrano sulla "semplicità d'uso" sono semplici da accedere ai dati, centrati sui materiali elettronici e adatti a una vasta gamma di usi.
Caratteristiche
La costruzione dell'elettrodo può essere modificata per migliorare l'effetto del plasma.
● Con adattatore di alta precisione, alimentazione RF ad alte prestazioni.
• Può essere personalizzato in base alle specifiche richieste.
Uso
● Grisiamento e incisione di wafer di silicio
● Trattamento della sporcizia della superficie del substrato
● Imballaggio IC/LED, gestione del substrato BGA/CSP
• Pulizia a secco dei materiali elettronici dei componenti relativi ai semiconduttori
• Rimozione naturale della membrana ossidativa e delle sostanze organiche
• Gestione dell'attività dell'interfaccia
• Rimozione degli inquinanti superficiali
Slot interno
specifiche
| Modello | V1000 | V1000X | V1000XS |
| Modalità plasma | DP/RIE | ||
| Alimentazione ad alta frequenza | 13.56MHz | ||
| Potenza di uscita | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
| Dimensioni effettive dell'elettrodo | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
| Elettrodo | Piattaforma parallela | 2 elettrodi (indipendenti) | Piattaforma (multiuso) |
| Gas di reazione | Sistema di controllo di polimerizzazione 2 (installazione separata per il percorso di riempimento) | ||
| Pompa per vuoto (standard) | circa 1000L/min | circa 1500L/min | 1000 & 1500L/min |
| Dispositivi di sicurezza | Interruttori di rilevamento delle porte, meccanismi di blocco, interruttori di arresto di emergenza, impeditori di eccesso di temperatura, ecc. | ||
Diagramma di connessione di tubazioni
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