La piattaforma di servizio di rilevazione di nanotecnologia è una soluzione unica che trasforma il braccio robotico di nanotecnologia di Mibot in una potente sonda di nanotecnologia per la caratterizzazione elettrica in situ dei processi integrati del circuito e dei materiali avanzati in SEM. Il braccio robotico nanotecnologico è attentamente progettato per ridurre al minimo l'interferenza con il segnale dei dati misurato e la corrente di perdita può essere fino a 100 fa/v. I cavi schermati collegano ogni telecamera dalla fase delle prestazioni a un connettore RF standard nazionale. Questa piattaforma di servizio consente di posizionare individualmente fino a 4 sonde su spazi interni in spazi di lavoro multipli mm, con pixel che raggiungono la nanotecnologia* Tuttavia, non è insignificante che il design compatto della fase di prestazione ha reso tali soluzioni realizzabili per coloro che hanno una piccola camera a vuoto per questi microscopi ottici.



Misurazione visiva in situ elettrica a bassa corrente. Toccare la sonda * * con il chip integrato del circuito per misurare le caratteristiche elettriche dei componenti integrati e proteggere da difetti. La soluzione SEM Nanoprobing di Imina Technologies è un progetto chiavi in mano per analizzare le caratteristiche elettriche dei dispositivi microelettronici e guasti comuni nei materiali semiconduttori in-situ.

* MiBot che può visualizzare una varietà di attrezzature ™ I dispositivi di filtrazione di nanotecnologia sono integrati nelle normative applicative del cliente e nelle apparecchiature del macchinario. miBot ™ Si tratta di un eccezionale attuatore piezoelettrico piccolo robot intelligente che è facile da applicare e ha molteplici funzioni. Permette di posizionare con precisione la fotocamera su campioni di livello mm, con pixel bassi come ossido di silicio. Le quattro caratteristiche di giocabilità di questa sonda nanotecnologica consentono agli operatori di regolare facilmente l'orientamento della sonda durante il periodo sperimentale.

La piattaforma circolare di servizio può essere installata sulla piattaforma di posizionamento preciso del campione SEM e può anche caricare serrature basate sul caricamento SEM. La confezione mostra un set di adattatori di alimentazione che possono essere utilizzati per aggiornare e modificare quasi tutti i SEM, anche quelli con piccole camere.

Ci impegniamo a progettare soluzioni per la misurazione di bassa corrente e le caratteristiche elettriche costruite dalla nanotecnologia possono essere eseguite sulla base di cavi schermati, moduli di misuratori di potenza switch di terze parti (SMU) e rivelatori di segnale dati, con eccellente rapporto segnale-rumore.

Il preamplificatore in situ superiore e il generatore di ultrasuoni dello scanner sono compatibili con le soluzioni di nanosonde, consentendo l'analisi quantitativa di EBIC e l'analisi EBAC/RCI a basso rumore.

Anche se l'installazione e lo smontaggio della versione di installazione della fase di prestazione richiedono solo più di dieci minuti e non richiedono modifiche a lungo termine alla camera del microscopio ottico, la versione di adattamento della serratura di carico presenta un volume di trasporto elevato per sostituire le apparecchiature e le telecamere della macchina testate, che è necessario per impedire l'apertura della camera.

Sulla base della piattaforma di servizio robot intelligente, vari tipi di stub SEM con diametri adatti consentono di osservare i campioni di prova come prima.