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Sistema di deposizione di vapore chimico a microonde
Facile da usare: Il metodo di connessione a gas adotta la struttura rapida della flangia di collegamento KF, che semplifica il processo di manipolazio
Dettagli del prodotto
Stazione di lavoro di scienza dei materiali a microonde - sistema chimico di deposizione del vapore di energia a microonde
Scopo principale:
Pricipalmente usato in semiconduttori, materiali isolanti su larga scala, la maggior parte dei materiali metallici e materiali legati al metallo, grafene, nanomaterials, fibre di carbonio, carburo di silicio
Nel campo dei nuovi materiali e processi come il rivestimento
Caratteristiche del prodotto:
★ Funzionamento conveniente: Il metodo di connessione del percorso del gas adotta la struttura della flangia di collegamento rapido KF, che semplifica il processo di raccolta e posizionamento del materiale.
Facile da usare, eliminando il complesso processo di installazione della flangia e riducendo i danni causati dall'installazione
★multifunzione:Tre metodi di riscaldamento sono disponibili: forno a microonde puro, riscaldamento elettrico tradizionale e riscaldamento ibrido; Adattarsi al trattamento termico di qualsiasi campione non infiammabile, compresi metalli e leghe
★Sensore specifico per campo a microonde sviluppato esclusivo per un controllo preciso della temperatura
★Sicurezza:Uso esclusivo delle misure di protezione a quattro livelli per prevenire perdite, progettazione sicura e affidabile della cavità di schermatura a microonde, protezioni multiple di prevenzione delle perdite
* Dotato di soppressori professionali a microonde come standard
* Sensore di perdita incorporato a microonde
★Risparmio energetico:Lunga durata: Il riscaldamento a microonde Magnetron evita e risolve il problema degli elementi riscaldanti tradizionali quali i fili riscaldanti, le barre di carbonio del silicio e le barre di molibdeno del silicio che sono facilmente danneggiate,
Evita inoltre la necessità di elementi riscaldanti
Varie perdite causate da danni, tra cui tempo, progresso sperimentale, costi di riparazione, ecc
★ Adottando la regolazione stepless, alta stabilità e lunga durataFonte di microonde ad onda continuaAssicurarsi che l'apparecchiatura possa funzionare continuamente e stabilmente per lungo tempo
★Sistema integrato di controllo della temperatura del microcomputer incorporato; Realizzare un controllo stabile della temperatura
★ Nessun bisogno di processo di essiccazione del forno: L'intera camera del forno genera calore da sola e il riscaldamento è uniforme
★ L'energia a microonde è disponibile immediatamente, senza inerzia termica e facile da controllare la temperatura
★ Il corpo del forno è dotato di una ventola di raffreddamento automatica
★ Il tubo protettivo adotta il tubo resistente ad alta temperatura della lega e il tubo del gas adotta una manica o un'interfaccia del VCR, che è facile da installare
★ Dotato di piedini regolabili della ruota girevole per un facile movimento e fissaggio
Caratteristiche facoltative:
1. modulo di riscaldamento indipendente multi zona: aggiungere D dopo il numero di modello
Riscaldamento e controllo indipendenti multipli in diverse zone di temperatura (con 2 zone di temperatura come standard)
Due o più zone di temperatura possono essere selezionate opzionalmente
◆ Utilizzato solitamente per la sintesi del materiale che coinvolge la fase gassosa o componenti volatili ad alte temperature
La lunghezza sia della zona di riscaldamento che della zona di temperatura costante può essere regolata.
2. Verticali o altre dimensioni possono essere personalizzati secondo le esigenze dell'utente
Parametri tecnici:





Scopo principale:
Pricipalmente usato in semiconduttori, materiali isolanti su larga scala, la maggior parte dei materiali metallici e materiali legati al metallo, grafene, nanomaterials, fibre di carbonio, carburo di silicio
Nel campo dei nuovi materiali e processi come il rivestimento
Caratteristiche del prodotto:
★ Funzionamento conveniente: Il metodo di connessione del percorso del gas adotta la struttura della flangia di collegamento rapido KF, che semplifica il processo di raccolta e posizionamento del materiale.
Facile da usare, eliminando il complesso processo di installazione della flangia e riducendo i danni causati dall'installazione
★multifunzione:Tre metodi di riscaldamento sono disponibili: forno a microonde puro, riscaldamento elettrico tradizionale e riscaldamento ibrido; Adattarsi al trattamento termico di qualsiasi campione non infiammabile, compresi metalli e leghe
★Sensore specifico per campo a microonde sviluppato esclusivo per un controllo preciso della temperatura
★Sicurezza:Uso esclusivo delle misure di protezione a quattro livelli per prevenire perdite, progettazione sicura e affidabile della cavità di schermatura a microonde, protezioni multiple di prevenzione delle perdite
* Dotato di soppressori professionali a microonde come standard
* Sensore di perdita incorporato a microonde
★Risparmio energetico:Lunga durata: Il riscaldamento a microonde Magnetron evita e risolve il problema degli elementi riscaldanti tradizionali quali i fili riscaldanti, le barre di carbonio del silicio e le barre di molibdeno del silicio che sono facilmente danneggiate,
Evita inoltre la necessità di elementi riscaldanti
Varie perdite causate da danni, tra cui tempo, progresso sperimentale, costi di riparazione, ecc
★ Adottando la regolazione stepless, alta stabilità e lunga durataFonte di microonde ad onda continuaAssicurarsi che l'apparecchiatura possa funzionare continuamente e stabilmente per lungo tempo
★Sistema integrato di controllo della temperatura del microcomputer incorporato; Realizzare un controllo stabile della temperatura
★ Nessun bisogno di processo di essiccazione del forno: L'intera camera del forno genera calore da sola e il riscaldamento è uniforme
★ L'energia a microonde è disponibile immediatamente, senza inerzia termica e facile da controllare la temperatura
★ Il corpo del forno è dotato di una ventola di raffreddamento automatica
★ Il tubo protettivo adotta il tubo resistente ad alta temperatura della lega e il tubo del gas adotta una manica o un'interfaccia del VCR, che è facile da installare
★ Dotato di piedini regolabili della ruota girevole per un facile movimento e fissaggio
Caratteristiche facoltative:
1. modulo di riscaldamento indipendente multi zona: aggiungere D dopo il numero di modello
Riscaldamento e controllo indipendenti multipli in diverse zone di temperatura (con 2 zone di temperatura come standard)
Due o più zone di temperatura possono essere selezionate opzionalmente
◆ Utilizzato solitamente per la sintesi del materiale che coinvolge la fase gassosa o componenti volatili ad alte temperature
La lunghezza sia della zona di riscaldamento che della zona di temperatura costante può essere regolata.
2. Verticali o altre dimensioni possono essere personalizzati secondo le esigenze dell'utente
Parametri tecnici:
Modello/modello | WBQXCJ-4 | |
Materiale riscaldabile | Materiale non infiammabile o esplosivo | |
frequenza microonde | 2,45 GHZ±50 MHz | |
Metodo di riscaldamento | Riscaldamento a microonde puro, riscaldamento elettrico tradizionale, riscaldamento misto | |
Potenza massima/KW (continua, regolabile) | 4 | |
Dimensione della cavità del campione/mm | Configurazione standard: Φ 45mm; Lunghezza 1200mm. Personalizzabile in base alle esigenze dell'utente | |
Cavità del campione (materiale) | tubo di quarzo | tubo di corindone |
Campo di controllo della temperatura/℃ | Temperatura ambiente -1200 ℃ | Temperatura ambiente -1500 ℃ |
Componente di prova della temperatura | Sensore specifico per campo a microonde | |
Risoluzione della temperatura/℃ | 0.1 | |
Precisione del controllo della temperatura/℃ |
± 1 inferiore a 1200 ℃; Sopra 1200 ℃ ± 2 ℃ |
|
Deviazione di temperatura/℃ | ||
Fluttuazione della stabilità della temperatura/℃ | ||
Metodo di raffreddamento | Raffreddamento ad aria standard (raffreddamento ad acqua opzionale) | |
Lunghezza della zona a temperatura costante/mm | Standard 100 può essere personalizzato secondo le esigenze dell'utente | |
Tasso di riscaldamento (standard) | 0~200℃/min Impostazione arbitraria, riscaldamento programmabile, segmentato |
|
Metodo di controllo della temperatura | 10 segmenti con i parametri di processo regolabili, operazione touch screen da 7 pollici e funzione di archiviazione dei dati; Fornire modalità di controllo della temperatura manuale, automatica e costante, con visualizzazione della curva in tempo reale | |
gas di controllo | Gas di controllo: H2, CH4, Ar, N2, altri gas facoltativi | |
controllo del flusso | La configurazione standard include 2 set di regolatori di flusso di qualità: Seven Star Huachuang (con valvola di protezione del vuoto nella parte posteriore, abbinato alla modalità del vuoto); Precisione: 0,8% | |
Tensione massima di resistenza | 1MPa; Tempo di risposta di controllo: 10ms | |
Pompa per vuoto con sistema di vuoto | RVP2008; Gamma di pressione: 10-3 Torr~760 Torr Velocità massima di pompaggio: 8,5 m3/h |
|
manometro del vuoto | Misuratore digitale del vuoto: 1atm-10-1 Pa | |
configurazione standard | Il sistema di controllo automatico del flusso di qualità è dotato di un computer di controllo e software di controllo, che può visualizzare e salvare i parametri di crescita in tempo reale | |
Altre configurazioni del percorso del gas | Armadi per gas, circuiti per gas e valvole, ecc. | |
porto | Interfaccia flangia KF50 in acciaio inossidabile | |
Tensione di alimentazione (V) | 220 | |
Tasso di dispersione a microonde/mW/cm2 | ≤0.4 | |
Dimensioni (lunghezza, larghezza, altezza)/mm | 1500×750×1550 | |






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