Stazione di lavoro di scienza dei materiali a microonde - sistema di deposizione chimica del vapore al plasma a microonde

Scopo principale:
Questo sistema può essere utilizzato sia come apparecchiatura tradizionale di deposizione del vapore chimico che come apparecchiatura di deposizione del vapore chimico di energia a microonde, così come apparecchiatura di deposizione del vapore chimico al plasma a microonde
★ Pricipalmente applicato nei campi dei semiconduttori, dei materiali isolanti su larga scala, della maggior parte dei materiali metallici e dei materiali legati al metallo, dei nuovi materiali e processi quali grafene, nanomaterials, fibre di carbonio, carburo di silicio, rivestimento, ecc
Questo prodotto ha proprietà eccellenti quali alta ionizzazione, alta temperatura dell'elettrone e densità dell'elettrone, ampio intervallo di pressione applicabile e nessuna contaminazione interna dell'elettrodo.
Deposizione chimica del vapore, incisione e conversione del metano in idrogeno, materiali luminescenti del lungo afterglow, sinterizzazione ceramica, modifica del nanotube del carbonio [3], sintesi della polvere nano, trattamento dell'inquinamento idrico e altri campi

Caratteristiche del prodotto:
★La progettazione di un reattore verticale può raggiungere l'alta densità del plasma; Un generatore a microonde simmetrico che produce un ambiente plasma più uniforme
★Non ci sono elettrodi interni all'interno della cavità risonante, che può evitare l'inquinamento causato dalla scarica dell'elettrodo. Inoltre, il suo campo di pressione di esercizio è relativamente ampio, con conseguente alta densità del plasma e grande area,
Elevata stabilità e nessun contatto con la camera a vuoto, evitando così la contaminazione del film dalla parete della camera
★Facile da usare:Il metodo di connessione del percorso del gas adotta la struttura rapida della flangia di collegamento KF, che semplifica il processo di raccolta e posizionamento dei materiali. Solo un morsetto è necessario per completare il collegamento del percorso del gas, che è conveniente per il funzionamento,
Annullato il complesso processo di installazione della flangia, riducendo i danni causati dall'installazione
★multifunzione:Quattro metodi di riscaldamento sono disponibili: plasma a microonde, forno a microonde puro, riscaldamento elettrico tradizionale e riscaldamento ibrido; Adattarsi al trattamento termico di qualsiasi campione non infiammabile, compresi metalli e leghe
★Struttura della zona a doppia temperatura:Zona superiore del plasma o zona di riscaldamento, zona inferiore del riscaldamento della fase del campione
★Sensore specifico per campo a microonde sviluppato esclusivo per un controllo preciso della temperatura
★Sicurezza:Uso esclusivo delle misure di protezione di interblocco per prevenire perdite, progettazione sicura e affidabile della cavità di schermatura a microonde, protezioni multiple anti perdite
* Dotato di soppressori professionali a microonde come standard
* Sensore di perdita incorporato a microonde
★Risparmio energetico:Lunga durata: Il riscaldamento a microonde Magnetron evita e risolve il problema degli elementi riscaldanti tradizionali come i fili riscaldanti, le barre di carbonio del silicio e le barre di molibdeno del silicio che sono facilmente danneggiate ed evita anche il problema degli elementi riscaldanti che vengono danneggiati
Varie perdite causate da danni, tra cui tempo, progresso sperimentale, costi di riparazione, ecc
★ Adottando la regolazione stepless, alta stabilità e lunga durataFonte di microonde ad onda continuaAssicurarsi che l'apparecchiatura possa funzionare continuamente e stabilmente per lungo tempo
★Sistema integrato di controllo della temperatura del microcomputer incorporato; Realizzare un controllo stabile della temperatura
★ Nessun bisogno di processo di essiccazione del forno: L'intera camera del forno genera calore da sola e il riscaldamento è uniforme
★ L'energia a microonde è disponibile immediatamente, senza inerzia termica e facile da controllare la temperatura
★ Dotato di piedini regolabili della ruota girevole per un facile movimento e fissaggio

Parametri tecnici:

Modello/modello	WBDQC-4
Materiale riscaldabile	Materiale non infiammabile o esplosivo
frequenza microonde	2,45 GHZ±50 MHz
Metodo di riscaldamento	Riscaldamento al plasma, riscaldamento a microonde puro, riscaldamento elettrico tradizionale, riscaldamento misto
Potenza massima/KW (continua, regolabile)	4
Lunghezza della cavità del campione	100mm standard può essere personalizzato secondo le esigenze dell'utente
Camera di riscaldamento del campione (materiale)	Tubo al quarzo (modalità di lavoro al plasma a microonde)	Tubo di quarzo e tubo di corindone (altri metodi di riscaldamento)
Campo di controllo della temperatura/℃	1100 ℃ diametro della cavità del campione di quarzo: disponibile in Φ 45mm, Φ 60mm e Φ 100mm;	1500 ℃ diametro della cavità del campione del corindone: facoltativo per Φ 45mm e Φ 60mm;
Componente di prova della temperatura	Sensore specifico per campo a microonde
Risoluzione della temperatura/℃	0.1
Intervallo massimo di temperatura della fase di campionamento	-1200 ℃, facoltativo per temperature più elevate
Precisione del controllo della temperatura/℃	± 1 inferiore a 1200 ℃; Sopra 1200 ℃ ± 2 ℃
Deviazione di temperatura/℃
Fluttuazione della stabilità della temperatura/℃
Metodo di raffreddamento	raffreddamento ad aria forzata
Lunghezza della zona a temperatura costante/mm	100mm standard può essere personalizzato secondo le esigenze dell'utente
Tasso di riscaldamento (standard)	0-200 ℃/min (escluso la modalità di lavoro del plasma a microonde) Impostazione arbitraria, riscaldamento programmabile, segmentato
Metodo di controllo della temperatura	10 segmenti con i parametri di processo regolabili, operazione touch screen da 7 pollici e funzione di archiviazione dei dati; Fornire modalità di controllo della temperatura manuale, automatica e costante, con visualizzazione della curva in tempo reale
gas di controllo	Gas di controllo: H2, CH4, Ar, N2, altri gas facoltativi
controllo del flusso	La configurazione standard include 2 set di regolatori di flusso di qualità: Seven Star Huachuang (con valvola di protezione del vuoto nella parte posteriore, abbinato alla modalità del vuoto); Precisione: 0,8%
Tensione massima di resistenza	1MPa; Tempo di risposta di controllo: 10ms
Pompa per vuoto con sistema di vuoto	RVP2008； Gamma di pressione: 10-3 Torr~760 Torr Velocità massima di pompaggio: 8,5m3/h
manometro del vuoto	Misuratore digitale del vuoto: 1atm-10-1 Pa
configurazione standard	Il sistema di controllo automatico del flusso di qualità è dotato di un computer di controllo e software di controllo, che può visualizzare e salvare i parametri di crescita in tempo reale
Altre configurazioni del percorso del gas	Armadi per gas, circuiti per gas e valvole, ecc.
porto	Interfaccia flangia KF50 in acciaio inossidabile
Tensione di alimentazione (V)	220
Tasso di dispersione a microonde/mW/cm2	≤0.4
Dimensioni (lunghezza, larghezza, altezza)/mm	1100×750×1900

Caratteristiche facoltative:
sistema di controllo del flusso di qualità; Alicat Quality Flow&Controller dagli Stati Uniti