MicroXAM-800 è un profilometro ottico senza contatto utilizzato per misurare la morfologia e la rugosità delle superfici 3D. MicroXAM-800 è un profilatore ottico basato su un interferometro a luce bianca, che utilizza l'interferometria a scansione di fase (PSI) per misurare le caratteristiche nanoscale e l'interferometria a scansione verticale (VSI) per misurare le caratteristiche di livello submicron a millimetro. MicroXAM estende ulteriormente queste tecnologie utilizzando SMART Acquire per semplificare le impostazioni del programma per gli utenti principianti, e utilizzando l'interferometria z-stitching per consentire la misurazione ad alta velocità di grandi altezze di passo. Le impostazioni del programma di MicroXAM-800 sono semplici e flessibili, consentendo una scansione singola o una misurazione automatica multipunto.

Il vantaggio della tecnologia di misura MicroXAM è che la risoluzione verticale della misura è indipendente dall'apertura numerica dell'obiettivo, consentendo misurazioni ad alta risoluzione su un ampio campo visivo. L'area di misura può essere ulteriormente aumentata concatenando più campi di vista nello stesso risultato di misura. L'interfaccia utente di MicroXAM è innovativa e semplice, adatta a vari ambienti di lavoro dalla ricerca e sviluppo alla produzione.

2,Funzione

funzione principale

Altezza passo: altezza passo 3D da nanometro a livello millimetro

Texture: rugosità e ondulazione 3D

Aspetto: deformazione e forma 3D

Bordo Roll off: Misura del contorno del bordo 3D

Revisione dei difetti: morfologia 3D della superficie dei difetti

CARATTERISTICHE

Interferometria di fase e scansione verticale per le caratteristiche di livello nanoscale a millimetro;

SMART Acquire semplifica la modalità di acquisizione e utilizza le impostazioni del programma più note per l'input del campo di misura;

Modalità di acquisizione della tecnologia interferometrica a punto Z, che può essere utilizzata per la scansione singola e la compilazione di più superfici con grandi distanze longitudinali (z);

La cucitura XY può concatenare regioni continue del campione più grandi di un singolo campo visivo in una singola scansione;

L'uso di script semplifica la creazione di misurazioni complesse e analisi del flusso di lavoro, ottenendo flessibilità nella posizione di misura, livellamento, filtraggio e calcolo dei parametri;

Trasferire algoritmi da altre sonde e profilatometri ottici utilizzando le migliori tecniche conosciute.

Capacità tecniche

Risoluzione Z: 0,2nm (PSI)

Ripetibilità RMS: 0,1 nm

Ripetibilità del passo: 0.1nm o altezza del passo 1%

3,Applicazione

Semiconduttori e semiconduttori composti

LED： Diodo ad emissione luminosa

Apparecchiature elettriche

MEMS： MEM

Archiviazione dati

apparecchiature mediche

Superficie di precisione

4,Altri

Alcuni utenti

University Paris Sud

Lanzhou Institute of Chemical Physics

Koszalin University of Technology

Tianjin University

University of Alabama

Shanghai Jiaotong University

Università Beihang

Nanjing University of Aeronautics and Astronautics

Università jiangsu

Università Tsinghua

Università di Fuzhou