Questa serie di prodotti è una serie di micro specchi, che è una serie di specchi composta da micro deflettori elettromeccanici del fascio. Le lunghezze d'onda applicabili possono variare dall'ultravioletto profondo al vicino infrarosso (DUV a NIR, 193nm ~ 1500nm). La superficie dello specchio può essere composta da 256 × 256 micro specchi, ogni superficie dello specchio misura 16um * 16um. La frequenza di scansione può raggiungere 1KHz. Può essere utilizzato per generare grafica, schede di maschera programmabili, ecc.

Example of micro mirror array for extended spectral range
„256 x 256 micro mirrors
„ 16 μm x 16 μm mirror pitch
„ Frame rate 1 kHz
„ Analogue mirror tilting
„ Illumination wavelengths : 193 … 1500 nm

Applications
„Pattern projection (real time grey levels)
„ Programmable masks
„ Structured / programmable illumination