Questo prodotto è uno specchio di deviazione laser MEMS basato sulla tecnologia microelettromeccanica, noto anche come scanner laser MEMS. Ampiamente usato in acquisizione dati, proiezione e varie altre applicazioni. I micro specchi meccanici di scansione del fascio possono fornire prodotti con piccole dimensioni, grande angolo di scansione e alta frequenza di scansione, adatti a vari prodotti di piccole dimensioni. Inoltre, questa serie di prodotti comprende anche deflettori di fascio laser micro meccanici 1D (deflettori di scansione laser micro elettromeccanici monodimensionali) e deflettori di fascio laser micro meccanici 2D (deflettori di scansione laser micro elettromeccanici bidimensionali).

Micro mechanical scanning mirrors offer a high degree of miniaturization, high scan frequencies, high mechanical robustness and the potential for low cost manufacturing at high volumes. MEMS scanners are very promising especially for small and portable systems.

Le specifiche di questo deflettore micro meccanico del raggio laser (specchio micro elettromeccanico di deviazione del raggio laser di scansione) sono le seguenti:
MEMS Scanner
Tipo scanner Risonante elettrostatico 1D
Frequenza di scansione 500 Hz ... 50 kHz (≥ 200 Hz su richiesta)
Angolo ottico di scansione (FOV) A seconda dello scanner, angolo di scansione ottico fino a 80°
(angolo di scansione meccanico ±20°) supportato
Diametro specchio attivo 1 ... 4 mm
Superficie attiva dello specchio alluminio, reflectivity 88 ... 90% in visible
gamma di lunghezze d'onda (400 ... 700 nm)

Scan Head
Sottostrati con tecnologie disponibili Ceramica (standard), vetro o PCB su richiesta
Sigillatura Antipolvere
Optical interface Dome with anti-reflective coating;
option: plane window on request
Mirror position control Optical, integrated in scan head, signal processing on driving electronics board
Electrical interface Flexible flat cable connected to sensor system
Module footprint 16 × 23 mm²
Working temperature 0 … 45 °C (extended temperature range on request)

Driving Electronics Board
Dimensions 77 × 46 mm²
Supply voltage 5 V DC
Internally generated driving
voltage for scanner 15 V … 200 V, max. 3 mA
Operating modes of thescanner control amplitude-controlled (above 8° scanning angle) or voltage-controlled