Macchina UV di litografia Mda-400-Fornitore globale

D1-5, distretto meridionale di Chengwang Lidu, No.1 Xiangsi Lake East Road, distretto di Xixiangtang, città di Nanning, provincia del Guangxi

Nome del prodotto:

Macchina UV di litografia Mda-400

Introduzione al prodotto:

Marca:MIDAS sudcoreano

modello:MDA-400M

Origine: Corea del Sud

Prezzo: negoziabile

Descrizione del prodotto:

Conosciuto anche come: macchina di esposizione di allineamento della maschera, sistema di esposizione, sistema litografico, macchina litografica, macchina di esposizione UV, ecc;
MIDAS è un fornitore globale leader di apparecchiature a semiconduttore, dedicato alla ricerca e alla produzione di macchine litografiche e omogeneizzatori per molti anni e ampiamente utilizzato nei campi dei semiconduttori, della microelettronica, dei dispositivi biologici e della nanotecnologia; Questa società è una delle prime aziende al mondo a commercializzare macchine litografiche, con forti capacità tecniche di ricerca e sviluppo e capacità di produzione di attrezzature; E la sua attrezzatura è stata adottata da molte imprese famose, centri di ricerca, istituti e università; Con tecnologia eccellente, artigianato squisito e servizio eccellente, abbiamo vinto il favore degli utenti.
Questo modello di macchina litografica ha il rapporto prezzo di prestazione più alto tra tutte le attrezzature importate, raggiungendo l'accuratezza di allineamento delle marche europee e americane. L'allineamento dello schermo di visualizzazione CCD è più conveniente e l'operazione LCD touch screen utilizza lampade ultraviolette Osram, con una lunga durata. L'effetto complessivo è robusto e durevole.

Caratteristiche principali:
-L'intensità della sorgente luminosa è controllabile;
-esposizione ai raggi UV, esposizione ai raggi UV profondi (opzione);
-Controllo del sistema: controllo manuale, semi-automatico e completamente automatico;
-Modalità di esposizione: modalità di contatto vuoto (forza di contatto regolabile), modalità di prossimità, modalità di proiezione;
Gamma di ventose a vuoto regolabile;
Tecnologia brevettuale: allineamento bifacciale, litografia bifacciale, con modalità IR e CCD
- Due sistemi di microscopio CCD con un ingrandimento massimo di 1000 volte, schermo di visualizzazione regolabile direttamente, più conveniente ed efficiente dell'allineamento tradizionale dell'oculare e facile da usare.
-I mandrini speciali del substrato possono essere personalizzati;
-Dotato di funzione di compensazione a forma di cuneo;

Parametri tecnici:
-dimensione del substrato: 4, 6, 8, 12, 25 pollici, altre dimensioni possono essere personalizzate;
Uniformità del fascio:< ±3%；
-Intervallo di tempo di esposizione regolabile: da 0,1 a 999,9 secondi;
Precisione di allineamento: 0,6-1 micrometri
-Risoluzione: 1 micron;
intensità di uscita del fascio: 15-25mW/cm2;

	progetto	specifiche tecniche
Sistema di esposizione Tipo MDA-400M	Potenza della sorgente luminosa	Sorgente luminosa di esposizione UV 350W con alimentazione elettrica
	risoluzione	- Contatto sotto vuoto: 1um ( Sottile PR@Si Wafer ) - Contatto duro: 1um - Contatto morbido: 2um - 20um Prossimità: 5um
	Dimensione massima del fascio	4,25×4,25 pollici
	Uniformità del fascio	≤ ±3% (standard 4inch)
	intensità del fascio	15~20mW/cm² (365nm Intensity)
	Il tempo di esposizione può essere regolato	da 0,1 a 999,9 sec
Sistema di allineamento	Precisione dell'allineamento	1um
	Allinea lo spazio	Regolazione manuale (display digitale)
	Modalità litografia	Vuoto, contatto duro, contatto morbido, prossimità
	Regolazione orizzontale del mandrino	Compensazione degli errori del cuneo
	Movimento del mandrino sotto vuoto	X, Y: 10 mm, Theta: ±5°
	Campo di movimento della direzione Z	10mm
	Avvicinamento del passo di regolazione	1um
Campione	Substrato di base	2, 3, 4 pollici
Campione	Dimensione modello maschera	4 e 5 pollici
Utilities	Vuoto	<-200 mbar (il sistema include pompa per vuoto)
	CDA ad aria compressa	> 5Kg/cm²
	Azoto N2	> 3Kg/cm²
	Alimentazione elettrica	220V, 15A, 1Fase
	Microscopio e monitor CCD and Monitor	Dual CCD zoom microscope and LCD (17inch) monitor; Magnification : 80x ~ 1000x;