Il sistema di modello nano di serie VIL (macchina litografica di interferenza laser) ha funzioni potenti quali trasmissione veloce e riconfigurabile del fascio, stabilità attiva del modello e posizionamento preciso del campione. Questo sistema può essere realizzato attraverso l'uso di norme2cm×2cmEsposizione ripetuta di campi di pattern con forme quadrate o definite dall'utente, in8Generare varie nanostrutture su una grande area di pollici, come1DReti di griglia e2Dcolonna/Modello del foro, punto da240 nmarrivo1500 nm.