Caratteristiche delle stazioni sonda ad alta e bassa temperatura
●prodottoFunzione:Stazione sonda ad alta e bassa temperaturadaMisurare le caratteristiche elettriche di campioni di piccole dimensioni, fornendo un ambiente di misura di alta precisione e controllabile;
●Campo di applicazione:Assisti nella misurazione precisa e nell'analisi delle prestazioni dei dispositivi wafer.
●Aree di applicazione:Fornire soluzioni tecniche per testare le caratteristiche IV/CV dei materiali/dispositivi, testare l'intensità luminosa/lunghezza d'onda di LD/LED/PD, analizzare il guasto dei dispositivi caratteristici RF e testare i circuiti interni/elettrodi/PAD dei chip;
●Servizi personalizzati:Fase del campione su misura e metodo di misura;
●Controllo automatico della temperatura:PID auto-tuning continuo controllo della temperatura multipunto.
Parametri tecnici della stazione della sonda di vuoto:
●Dimensioni esterne:650mm in lunghezza, 650mm in larghezza e 1300mm in altezza;
●Intervallo di temperatura:-196-400 ℃ (temperatura ambiente);
●Metodi di raffreddamento e riscaldamento:refrigerazione dell'azoto liquido, riscaldamento di resistenza;
●Dimensione della tabella del campione:≤φ100mm;
●Altezza effettiva:40mm;
●Grado di vuoto:Pompa meccanica ≤ 10Pa, pompa molecolare ≤ 5,0 e-3Pa;
●Percorso del gas:1-2 rotte;
●Sensore di temperatura:PT100;
●Metodo di controllo della temperatura:regolazione lineare PID;
●Precisione del controllo della temperatura:±0.1℃;
●Tasso massimo di riscaldamento:80 ℃/min (RT a 100 ℃);
●Velocità massima di raffreddamento:50 ℃/min (RT a -100 ℃);
●Corsa dell'asse XYZ:50mm*50mm*10mm;
●Struttura della sonda:Braccio esterno della sonda, struttura a soffietto sottovuoto;
●Precisione mobile:0,01 mm;
●Cavo:cavo coassiale/RF;
●Tipo di sonda:Sonda in tungsteno (tipo opzionale);
●Tipo di connettore:BNC/clip coccodrillo/morsetto;