Marca: Gatan

Nome del modello: Gatan SmartEMIC

Produttore: GATAN

Distributore: Opodong Co., Ltd.

Presentazione completa del prodotto:

Caratteristiche del prodotto:

Il sistema di analisi EBIC può controllare in tempo reale il software per acquisire completamente automaticamente il segnale di corrente sensibile a fascio di elettroni (EBIC), ottenere informazioni sull'immagine EBIC e anche ottenere informazioni sulla curva IV, zui può testare la posizione del nodo PN, la larghezza, la lunghezza di diffusione minore, il posizionamento del punto di guasto del materiale o del dispositivo, ampiamente utilizzato nel campo dei semiconduttori elettronici.

Caratteristiche del sistema:

Sistema EBIC ad alte prestazioni per la misurazione quantitativa di EBIC. Il software di analisi intuitivo viene eseguito sulla piattaforma software DigitalMicrograph.

I sistemi SmartEBIC per SEM includono:

• Amplificatore EBIC a batteria ricaricabile controllato da computer

• Sede campione EBIC (ASH) con sonda di tungsteno regolabile per il contatto desktop. Con adattatore Gatan adeguato, il campione può essere caricato anche tramite serratura a aria*

• Interfaccia con il campione SEM

• Collegamento a presa e 4 collegamenti a cavo BNC, alimentazione aria a basso rumore, adatta per la misurazione di EBIC e fasci elettronici

• Sistema di controllo digitale DigiScan II con tecnologia Fireware. Comprende due ingressi analogici per acquisire simultaneamente immagini di qualità fotografica e consente di controllare flessibilmente l'intensità del pixel, il tempo di permanenza per punto, la rotazione della scansione e altro ancora. Per alcuni SEM, può anche comunicare i parametri operativi del SEM tramite il software.

• Software Digital Micrography con avanzato plugin SmartEBIC per misurazioni quantitative, analisi in tempo reale e post-elaborazione dei contorni lineari

Parametri tecnici principali del prodotto:

SmartEBIC consente l'acquisizione automatica e l'analisi quantitativa dei segnali EBIC:

Sistema di controllo della scansione:

L'acquisizione di dati a 1, 1, 2 o 4 bit offre un'ampia gamma dinamica

Risoluzione di scansione da 16 x 1 a 8.000 x 8.000 pixel

Tempo di permanenza del fascio di elettroni regolabile tra 0,5 ms / pixel e 300 ms / pixel

Regolare automaticamente le dimensioni dell'immagine per rendere il processo sperimentale EBIC più conveniente

* Configurazione del controller Digi-Scan, acquisizione completamente automatica del controllo del software in tempo reale, l'analisi quantitativa del segnale può essere effettuata al momento dell'acquisizione del segnale EBIC, senza ulteriore post-elaborazione.

* 6, le informazioni sull'immagine EBIC possono essere ottenute e le informazioni sulla curva IV possono essere ottenute.

Controllo del rumore:

1. Banca di campionamento accessoria EBIC appositamente progettata

2. Modo di avvolgimento coassiale

Batteria al piombo riutilizzabile (durata di 15 ore)

Può cambiare il guadagno dell'amplificatore per ottimizzare il rapporto segnale-rumore e la larghezza di banda per l'acquisizione dei dati

5. Due filtri RC di primo ordine opzionali, filtro passaggio basso o passaggio alto

6. Modalità di ingrandimento a bassa deriva

Al di fuori del periodo di comunicazione con il PC, il microprocessore del sistema passa automaticamente allo stato di inattività

8. Ricchi strumenti di elaborazione delle immagini. Include attrezzi di affilatura, lisciatori e trasformatori di Fourier.

Può essere adattato con tecnologia Lock-in (questo sistema non è disponibile, tale sistema di configurazione non sarà l'analisi quantitativa del segnale EBIC)

Tracciazione:

realizzato tramite software. Risoluzione di acquisizione a 12 bit (1,22 mV) +/-5V.

Automazione:

Il sistema ottimizza automaticamente le dimensioni della visualizzazione dell'immagine anche in condizioni di scarsa impostazione dei parametri dell'amplificatore per una navigazione più conveniente

Possibilità di impostare automaticamente lo spostamento/il guadagno dell'amplificatore

Software:

Misura della lunghezza di diffusione unidimensionale del processo

Ampia gamma di strumenti di analisi di scansione superficiale / lineare, tra cui strumenti di analisi matematica, applicazioni di filtraggio e altro ancora

Ampia gamma di opzioni di visualizzazione delle immagini, tra cui la sovrapposizione di immagini elettroniche secondarie e immagini EBIC

Linguaggi di programmazione che ti aiutano a scrivere software personalizzato per i tuoi esperimenti

Principali applicazioni del prodotto:

Test PN posizione di nodo, larghezza, lunghezza di diffusione minore materiale metallico

Posizionamento del punto di guasto del materiale o del dispositivo

Test della densità di errore di bit dei materiali semiconduttori

IV Test delle caratteristiche

Esempi di applicazione:

Applicazione 1: Test di posizione PN, larghezza, lunghezza di diffusione minore

Applicazione 2: Posizionamento del punto di guasto del materiale o del dispositivo

Marca: Gatan

Nome del modello: Gatan SmartEMIC

Produttore: GATAN

Distributore: Opodong Co., Ltd.