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FAAS 8000ICS Sistema di monitoraggio in linea
Il sistema di monitoraggio ionico in linea FAAS 8000ICS utilizza la tecnologia di assorbimento di gas a impatto in combinazione con il metodo di anali
Dettagli del prodotto
Panoramica del prodotto
Il sistema di monitoraggio ionico in linea FAAS 8000ICS utilizza la tecnologia di assorbimento di gas a impatto in combinazione con il metodo di analisi cromatografica ionica, per realizzare il campionamento a più punti, l'arricchimento automatico dell'assorbimento del gas, il controllo della qualità in linea e altre funzioni di monitoraggio online completamente automatiche, risolvere il grande investimento del personale nel processo di monitoraggio AMC della camera pulita, la bassa frequenza di monitoraggio dei dati, il feedback dei dati non è tempestivo e altri problemi; Può essere utilizzato per il monitoraggio online degli inquinanti acidi (MA) e alcalini (MB) negli impianti di semiconduttori.
Caratteristiche del prodotto
Dati affidabili
Il sistema implementa campionamento automatico a lunga distanza, assorbimento di arricchimento automatico, controllo di qualità automatico, analisi automatica e caricamento automatico dei dati per l'automazione di tutto il processo.
Evitare l'introduzione di errori manuali, i dati sono accurati e affidabili.
Alta sensibilità
Concentrazione di campioni di grande volume, migliorando notevolmente la capacità di rilevamento del sistema, il limite di rilevamento può raggiungere livelli inferiori a ppt, riducendo il ciclo operativo del sistema.
Ampio monitoraggio
Un singolo sistema può configurare il prelievo di campioni fino a 32 punti;
Il sistema di campionamento a lunga distanza tramite pompa a vuoto consente il monitoraggio online dei campioni in un raggio di 300 m.
Conformità progettazione
I tubi del sistema e i gruppi di valvole sono progettati in politetrafluoroetilene pulito per soddisfare i requisiti di controllo relativi all'eliminazione delle impurità in SEMI F57.
Assorbimento efficiente
Il design del modulo di assorbimento doppio online consente di risparmiare tempo di analisi del campione e di produrre dati più veloci ed efficienti!
Area di applicazione
Il sistema di monitoraggio ionico in linea AAS 8000ICS è principalmente utilizzato per il monitoraggio online degli inquinanti acido-alcalini solubili in acqua nell'aria dell'ambiente in camera pulita e può essere esteso al rilevamento degli inquinanti ionici nell'atmosfera.
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