Tetra 30I sistemi plasmatici possono essere integrati in diverse forme, ad esempioSistema modularedella forma.
Di seguito potete capire in generale come è possibileTetra 30L'opzione più comune utilizzata insieme al sistema di plasma.
Tetra 30I sistemi al plasma sono utilizzati principalmente nei seguenti settori:
Analisi (REM, TEM)
archeologia
Industria automobilistica
Biotecnologia
Tecnologia degli elastomeri
Tecnologia elettronica
Microscopio elettronico
Ingegneria di precisione
Ricerca e sviluppo
Tecnologia semiconduttore
Produzione in piccole quantità
Tecnologia della plastica
Tecnologia medica
Tecnologia dei microsistemi
Tecnologia delle celle solari
Tecnologia tessile
Attrezzature di base
Le specifiche dell'alloggiamento variano a seconda del componente specifico/opzione
Volume della camera: 34 - 57 litri a seconda della versione specifica
Alimentazione elettrica: 230 V o 400 V / 3 fasi
Fonte di gas
Controllatori di flusso di massa (MFC)
Camera vuoto
Porta in acciaio inossidabile rettangolare con cerniera
(Larghezza circa 305 mm, altezza 300 mm x profondità 370 mm o 625 mm)
Parti di carico
Supporto prodotto (opzionale: raffreddato ad acqua), piatti in vetro al quarzo, tamburo a rotazione in polvere, tamburo a rotazione in granelli, lamiera di alluminio, lamiera in acciaio inossidabile, vetro borosilicio, vetro al quarzo
Elettrodo
Strato singolo o multiplo
Elettrodo RIE con spruzzo di gas
Sistema di controllo
Sistema di controllo PCCE (Microsoft)Windows CE)
Sistema di controllo PC (Microsoft)Windows POS Ready 2009)
Misura della pressione
Pirani
Baratron (per le versioni a gas corrosivi)
Temporizzatore
Tipo digitale
Generatore
Frequenza: | 40 kHz: potenza 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W |
13,56 MHz: potenza 0 - 300 W; 0 - 600 W | |
2,45 GHz: potenza 0 - 600 W; 0 - 1200 W |
Tutti i generatori regolabili senza gradi dal 0 al 100%
Pompa per vuoto
Le specifiche e i produttori variano (in base alle esigenze dei filtri a carbone attivo)
Altre opzioni
Kit di ricambi, manometri, strutture per gas corrosivi, cilindri, riduttori di pressione, pannelli riscaldanti, indicatori di temperatura, camere riscaldate, Faraday Box、 Accessori di polimerizzazione al plasma, inchiostro di prova, generatore di ossigeno, ventilazione lenta, aspirazione lenta, flange TEM, manutenzione/servizio, documentazione in lingua locale, installazione in loco, formazione inclusa. Altre opzioni disponibili su richiesta.