Il sistema di produzione Tetra 130, con il suo volume di 130 litri e PC-control, viene utilizzato per la pulizia e il rivestimento di componenti medicali.

Sistema plasmatico speciale Tetra 130-LF-PC

Dati tecnici:

Armario di interruttore:
L 1800 mm, H 2100 mm, P 1300 mm

Camera:
L 400 mm, H 400 mm, P 810 mm

Volume della camera:
130 litri circa

Alimentazione di gas:
3 canali del gas tramite MFC
(di cui 1x tramite Bubbler)
1 canale gas Monomer tramite valvola a 2/2 vie

Generatore:
1 pezzo (13.56 MHz)
(facoltativo: 40 kHz)

Controllo
Controllo PC (Windows) con bus di campo industriale

Proprietà:
Gamma UHV con turbopompa