Dispositivo di trattamento dei gas di scarico a combustione Scrubber

I. Caratteristiche principali

Modalità di combustione indipendente, vortice di fiamma completamente bruciata: i gas tossici infiammabili possono essere trattati ad alta temperatura da basse concentrazioni al 100%;

2. bruciare simultaneamente SiH4 e NF3, NO2: SiH4 e NF3, NO2 possono essere bruciati contemporaneamente insieme nella camera di combustione;

Progettazione di sicurezza delle funzioni di base: quando si verificano anomalie, la funzione di diagnosi viene gestita automaticamente in modo sicuro;

Usando il rasciatore, la polvere è facile da trattare: la polvere attaccata all'interno della camera di combustione può essere rimossa facilmente e effettivamente con un rasciatore indipendente;

di H2, LPG、 Varie forme di gas naturale (GPL): il gas combustibile può utilizzare H2, LPG、 3 tipi di gas naturale (GPL);

Manutenzione semplice: la manutenzione può essere completata in un tempo estremamente breve e i costi sono bassi;

Alta affidabilità: la costruzione è semplice e il numero di parti è ridotto, merita un'alta affidabilità.

Tipi di gas trattati da impianti speciali di trattamento dei gas di scarico Scrubber a combustione

I tipi di gas che possono essere trattati includono i gas speciali utilizzati nel processo di incisione e nel processo di deposito di fase chimica di semiconduttori, cristalli liquidi e energia solare, tra cui SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O ecc.

Principio di gestione dell'impianto di trattamento dei gas di scarico speciale Scrubber a combustione

Una parte dell'aria di raffreddamento forma un vortice di fiamma all'interno della camera di combustione e il gas di processo è completamente coinvolto nella combustione;

Il vortice di fiamma del Guardian può produrre gas come SiH4 e distruggere le bolle;

L'aria di raffreddamento circola all'interno della macchina e l'aria di raffreddamento viene utilizzata all'esterno della camera di combustione. E può ridurre la temperatura di raffreddamento degli scarichi, e può scaricare gli ossidi dopo la combustione e altre diverse funzioni;

Il dispositivo di sicurezza termoelettrico può monitorare la temperatura della camera di combustione, la temperatura dello scarico e la temperatura del tubo di importazione del gas di processo. Inoltre, il sensore foto monitora l'spegnimento e il tensiometro differenziale controlla il volume di aria di scarico.