Spettrometro di massa di controllo di processo Atonarp Aston ™ Specifiche tecniche:

Strumento universale per il controllo del processo in tempo reale, resistente ai gas corrosivi, anticondensazione
Piattaforma di analisi molecolare in situ per la fabbricazione di semiconduttori che fornisce dati in tempo reale e operabili
Fonte di ionizzazione al plasma, senza fili, più durevole
Integrazione completa con strumenti di produzione in serie
Aston ™ Analizzatore di spettro di massa di processoCome piattaforma potente, può sostituire una varietà di strumenti tradizionali, fornendo livelli di controllo senza precedenti, tra cui fotografia, etching e deposito di elettrodischi e conduttivi, pulizia delle camere, abbinamento e dissoluzione delle camere.

Aston ™ Analizzatore di spettro di massa di processoParametri tecnici

Atonarp Aston™ Applicazioni: importanti sviluppi nel controllo e nell'ottimizzazione dei processi dei semiconduttori per migliorare la rendita, il rendimento e l'efficienza dei processi di produzione dei semiconduttori
Aston ™ È un spettrometro di massa online compatto e robusto di nuova progettazione per il monitoraggio e il controllo dei gas nella produzione di semiconduttori e nelle applicazioni di controllo dei processi industriali, che combina alta precisione quantitativa e in tempo reale con robustezza e affidabilità di produzione, come l'analisi del rilevamento dei gas di scarico per pompe a secco a semiconduttori, per il monitoraggio online e la diagnosi.
CVD / ALD: transizione ossido-nitruro e analisi della composizione
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: identificazione delle molecole tracciate


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