Forno a tubo a doppia zona di temperatura: due sistemi di controllo della temperatura indipendenti controllano indipendentemente due zone di temperatura

Lunghezza della zona di riscaldamento: zona di temperatura 1: 200mm, zona di temperatura 2: 200mm

● Materiale tubo forno: quarzo di alta purezza

● Dimensioni del tubo: diametro esterno: 60 × diametro interno: 54 × lunghezza: 760 mm

Diagramma della temperatura (misurato a 800 °C in due zone di temperatura, solo a titolo informativo)(Clicca sulla foto per i dettagli)

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Temperatura di funzionamento massima: 1200 ℃ (< 1 ora)

Temperatura di funzionamento continua: 1100 ℃

Precisione della temperatura: +/- 1℃

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Con flangia di tenuta in acciaio inossidabile con valvola di chiusura in acciaio inossidabile e manometro meccanico

L'interfaccia della flangia di ingresso è Φ6.35, l'interfaccia della flangia di uscita è KF25

L'anello di tenuta della flangia è raffreddato ad acqua, quando viene utilizzato è necessario accedere all'acqua di raffreddamento, è possibile acquistare un raffreddatore ad acqua circolare presso la nostra azienda

Vuoto: 10E-2 torr (con pompa meccanica), 10-E5 torr (con pompa molecolare)

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● Una termocoppia caricata di pinza passa attraverso la flangia sinistra all'interno del tubo del forno e viene collegata al crogiolo (Figura 1)

● Movimento del crogiolo tramite azionamento del motore a passo e con termocoppia e crogiolo per monitorare la temperatura del campione in tempo reale

● Flangia a ruota a flangia di aspirazione (Figura 2)

● 4 crogioli possono essere inseriti contemporaneamente nel sistema rotativo, crogioli al quarzo in 4 materiali possono essere inseriti automaticamente nel tubo al quarzo (può funzionare in stato di vuoto o di protezione atmosferica)

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● Controllare la velocità e la posizione del movimento del crogiolo attraverso un motore passo-passo

Lo spostamento minimo di movimento del crogiolo può essere controllato per essere 1mm

La distanza massima di movimento del crogiolo è 200mm

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Dotato di manometro digitale anticorrosivo

Quando la pressione dell'aria è superiore a 10 bar, non è necessario convertire coefficienti in base al tipo di gas misurato

Alta precisione e ripetibilità nel rilevamento della pressione del gas

A causa del rivestimento sul sensore, ha una buona resistenza alla corrosione

Campo di misura: 3.8x10-5-1125 Torr

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Questa apparecchiatura è dotata di un sistema di miscelazione bidirezionale

Potenza massima di uscita: 18W

Temperatura di lavoro: 5-45 ℃

Pressione massima dell'aria: 3 × 106Pa

Precisione: ± 1% FS

● Campo del misuratore di portata di massa:

● 1:0-100sccm

● 2:1-199sccm

È possibile scegliere 1-5 sistemi di alimentazione del gas in base alle esigenze del cliente

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2400L×600W×1300mm H

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Periodo di garanzia di un anno, manutenzione a vita (esclusi tubi del forno, anelli di tenuta e elementi riscaldanti)

● Certificazione CE

Tutti i componenti elettrici (>24V) sono certificati UL/MET/CSA

Nel caso in cui il cliente dovesse sostenere spese di certificazione, la nostra azienda garantisce che un singolo dispositivo supererà la certificazione tedesca TUV o CAS

La pressione dell'aria all'interno del tubo del forno non può superare 0.02MPa

A causa dell'elevata pressione interna della bombola del gas, una valvola di riduzione della pressione deve essere installata sulla bombola quando introduce il gas nel tubo del forno. Si consiglia di acquistare una valvola di riduzione della pressione dalla nostra azienda, che ha una gamma di 0.01MPa-0.1MPa e può essere utilizzata in modo più accurato e sicuro

Quando la temperatura del corpo del forno è superiore a 1000 ℃, il tubo del forno non può essere in uno stato di vuoto. La pressione all'interno del tubo del forno dovrebbe essere equivalente alla pressione atmosferica e mantenuto alla pressione atmosferica

La portata del gas che entra nel tubo del forno dovrebbe essere inferiore a 200SCCM per evitare l'impatto del grande flusso d'aria freddo sul tubo di quarzo riscaldato

La temperatura di uso a lungo termine del tubo di quarzo è inferiore a 1100 ℃

Per l'esperimento di riscaldamento del campione, non è raccomandato chiudere la valvola di scarico e la valvola di ingresso all'estremità della flangia del tubo del forno. Se è necessario chiudere la valvola del gas per riscaldare il campione, è necessario prestare costantemente attenzione alla lettura sul manometro. Se la lettura della pressione è superiore a 0,02 MPa, la valvola di sfiato deve essere aperta immediatamente per evitare incidenti (come rottura del tubo del forno, flangia che fuoriesce, ecc.)

Questo forno a tubi ha molteplici usi

● Evaporazione termica: posizionare il materiale evaporato in un crogiolo e spostare il crogiolo per trovare con precisione la temperatura di evaporazione richiesta

● HPCVD: Simile all'evaporazione termica, il gas di reazione può essere introdotto per reagire con il materiale evaporato prima della deposizione

● Può essere utilizzato per realizzare cristalli bidimensionali multistrato